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靶材系列 設備及技術服務 電弧等離子噴涂
旋轉硅鋁靶








 技 術 參 數

成份

純度
≥99.99%
相對密度
z96%
電阻率
≤8Q.cm
規格-長度(Max)
4000mm
規格-寬度(Max)
寬度(Max)13mm






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