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靶材系列 設備及技術服務 電弧等離子噴涂
硅靶



 技 術 參 數
成份
 硅
 純度
 ≥99.99%
相對密度
 ≥96%
 電阻率
 ≤80.cm
規格-長度(Max)
 000mm
 規格-厚度(Max)
 13mm

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